| |
Светодиодный многоканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации [Текст] / В. И. Ковалев, А. И. Руковишников, С. В. Ковалев, В. В. Ковалев
// Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 5. – С. 99-102.
Использование набора из 8 светодиодов в многоканальном спектральном эллипсометре с бинарной модуляцией состояния поляризации позволило создать простой эллипсометр с полностью перекрывающимся диапазоном длин волн 350-810 нм и высокими техническими характеристиками. |
