| |
Голишников, А. А.
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов [Текст] / А. А. Голишников, М. Г. Путря
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2014. – № 1. – С.36-41.
Исследованы зависимости технологических характеристик процесса глубокого травления кремния от его операционных параметров. |
