| |
Матричный эллипсометрический комплекс МЭК-2 [Текст] / Е. В. Спесивцев, С. В. Рыхлицкий, Н. А. Аульченко, В. Ю. Прокопьев
// Приборы и техника эксперимента. – 2011. – № 6. – С. 137-138.
Описан матричный эллипсометрический комплекс МЭК-2 для проведения экспрес-диагностики тонкопленочных микрообъектов по площади измеряемого образца с субнанометровым разрешением по толщине. |
