|
Установка РИТМ-СП для формирования поверхностных сплавов [Текст] / А. Б. Марков, А. В. Миков, Г. Е. Озур, А. Г. Падей // Приборы и техника эксперимента. – 2011. – № 6. – С. 122-126.
Описывается комбинированная установка РИТМ-СП, предназначенная для формирования тонких слоев сплавов на поверхности образца в едином вакуумном цикле. |