| |
Система контроля ионного тока в ускорителе ИЛУ-3 [Текст] / В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев, Д. А. Коновалов, В. Ю. Петухов
// Приборы и техника эксперимента. – 2011. – № 5. – С. 136-139.
Описаны конструкция малогабаритного устройства регистрации заряженных частиц и система контроля тока ионного пучка. Система содержит несколько датчиков для измерения ионного тока, что повышает информативность и дает возможность визуализации процесса имплантации и контроля параметров пучка ионнов. |
