| |
Особенности интеграции графенов в технологические процессы микроэлектроники [Текст] / И. И. Бобринецький, И. А. Комаров, К. К. Лаврентьев [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 3. – С. 33-42.
Разработаны методики формирования интегрированных графеновых структур на поверхности кремниевых пластин на основе методов механического, химического расщепления и химического осаждения из газовой фазы. Приведены исследования с использованием атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии дефектности полученных структур. |
