|
Дружинин, А. А. Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния [Текст] / А. А. Дружинин, А. П. Кутраков, И. И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2012. – № 6. – С. 25-28.
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления. |