О-72 |
Осадчук, В. С. Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для мікроелектронної технології [Текст] : монографія / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, О. О. Селецька ; ВНТУ. – Вінниця : ВНТУ, 2013. – 160 с. – 17,50 грн, 300 пр.
В монографії проаналізовано сучасний стан оптичних перетворювачів, подано основи побудови радіовимірювальних оптичних перетворювачів з частотним виходом на основі реактивних властивостей транзисторних структур з від'ємним опором для визначення часу плазмохімічного травлення. |