| |
Плазменные источники ионов твердых веществ [Текст] / M. Turek, A. Drozdziel, K. Pyszniak [и др.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2012. – № 4. – С. 57-69.
Описаны три варианта конструкции источников ионов: 1)с полым катодом и системой анод-испаритель в задней части источника; 2)с цилиндрическим анодом; 3)с полым катодом и анодом в передней части. Показано, что эти источники наиболее пригодны для получения ионных пучков твердотельных элементов. |
