| |
Спектральный эллипсометрический комплекс ЭЛЛИПС-1891-САГ [Текст] / С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, В. А. Швец, В. Ю. Прокопьев
// Приборы и техника эксперимента. – 2012. – № 2. – С. 161-162.
Описан спектральный эллипсометрический комплекс, предназначенный для прецизионных измерений толщин многослойных тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением и исследования с высоким быстродействием спектральных оптических постоянных и структурных свойств материалов в широком спектральном диапазоне. |
