| |
Гридфин, В. А.
Моделирование влияния конструктивно-технологических параметров на характеристики кремниевых резонансных сенсоров давления [Текст] / В. А. Гридфин, М. А. Чебанов, В. Ю. Васильев
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 2. – С. 61-66.
Рассмотрены вариационный и конечно-элементный методы расчета характеристик резонансных сенсоров давления. |
