| |
Быков, В. А.
Нанодиагностика и зондовая микроскопия в исследованиях новых материалов [Текст] / В. А. Быков
// Нанотехнологии: наука и производство. – 2011. – № 4. – С. 7-10.
В настоящее время стала очевидным необходимость применения нанометрологии и в промышленности для контроля качества новых материалов, качества обработки поверхностей, в особенности в таких областях, как микро и наноэлектроника. |
