|
Моделювання процесу росту оксиду на поверхні при дифузії в тонких плівках в умовах дії "кисневого насоса" [Текст] / А. І. Олешкевич, А. М. Гусак, С. І. Сидоренко, С. М. Волошко // Український фізичний журнал. – 2010. – Т. 55, № 9. – С. 1005-1014.
Запропоновано моделі, які дозволяють прогнозувати кінетику росту оксиду на поверхні тонких плівок. |