| |
Измерение размеров элементов нанорельефа тестовой структуры на поверхности кремния методом растровой электронной микроскопии [Текст] / В. П. Гавриленко, Ю. В. Ларионов, В. Б. Матюхляев [и др.]
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 476-480.
Предложен способ измерения размеров элементов нанорельефа на поверхности кремния, имеющих профиль с формой трапеции, в растровом электронном микроскопе при условии близости эффективного диаметра его электронного пучка и минимального размера участка элемента этой структуры. |
