| |
Белокопытов, Г. В.
Оптическая литография без маски [Текст] / Г. В. Белокопытов, Ю. В. Рыжикова
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 453-467.
Обсуждаются принципы построения, примеры реализации систем, а также факторы, ограничивающие их пространственное разрешение и быстродействие. |
