| |
Спектральное исследование травления арсенида галия в плазме HCI [Текст] / А. В. Дунаев, С. А. Пивоварёнок, С. П. Капинос [и др.]
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 413-417.
В статье проведено исследование травления арсенида галлия в плазме последнего методом эмиссионной спектроскопии. |
