| |
Ефремов, А. М.
Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях HCI-H_2 [Текст] / А. М. Ефремов, А. В. Юдина, В. И. Светцов
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 405-412.
Проведено исследование влияния начального состава смеси HCI-H_2 на стационарные параметры и состав плазмы тлеющего разряда постоянного тока. |
