|
| | |
Боргардт, Н. И.
Анализ структуры СБИС с применением метода фокусированного ионного пучка, электронной и оптической микроскопии [Текст] / Н. И. Боргардт, Н. В. Алексеев, Р. Л. Волков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 5. – С. 91-98.
|
| |
|
