|
Цуканов, А. В. Оптоэлектромеханические системы и квантовая информатика [Текст] / А. В. Цуканов // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 5. – С. 359-369.
Рассматриваются различные оптоэлектромеханические системы, их основные функциональные элементы и технические характеристики, обсуждается роль этих объектов в современной экспериментальной физики. |