| |
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A_3B_5 [Текст] / С. Б. Александров, К. М. Крупальник, Н. А. Корнилов, Т. А. Кондратьева
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2011. – № 1-2. – C. 49-52.
Рассмотрены принципы построения технологических модулей. |
