|
Кравченко, С. Ю. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2011. – № 1. – С. 127-135.
Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. |