| |
Невлюдов, И. Ш.
Экспериментальная проверка теоретических основ, положенных в основу технологии автоматизированного контроля шероховатости поверхности подложки [Текст] / И. Ш. Невлюдов, С. П. Новоселов, А. Г. Резниченко
// Радиотехника. – 2011. – № 164. – С. 155-162.
Рассматриваются результаты экспериментальной проверки предложенного метода распознавания и восстановления интерференционного сигнала отраженного от функциональной поверхности подложки, выполненной моделированием на ПЭВМ. |
