| |
Влияние размеров поперечного сечения мезатензорезисторов на их характеристики [Текст] / В. А. Гридчин, А. С. Черкаев, Чебанов, В. Б. Зиновьев
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 2. – С. 89-97.
Эксперементально исследовано влияние ширины поликремниевых мезатензорезисторов с диэлектричесой изоляцией на их поверхностное сопротивление и тензочувствительность в условиях формирования пассивирующего покрытия из термического диоксида кремния. |
