| |
Афонин, С. М.
Исследование статистических и динамических характеристик пьезодвигателя нано- и микроперемещений [Текст] / С. М. Афонин
// Известия РАН. Энергетика. – 2009. – № 1. – С. 120-127.
Рассчитаны статистические и динамические характеристики пьезодвигателя нано- и микроперемещений для оборудования нанотехнологии и микроэлектроники, определено влияние физических и геометрических параметров. |
