| |
Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния [Текст] / А. З. Рахматов, С. Л. Скорняков, А. В. Каримов [и др.]
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 5-6. – С. 30-35.
Исследованы процессы высококонцентрационной диффузии мышьяка в вакуумированных ампулах. |
