| |
Семенов, А. В.
Лабораторная установка для получения пленок карбида кремния методом прямого ионного осаждения [Текст] / А. В. Семенов, В. М. Пузиков
// Приборы и техника эксперимента. – 2010. – № 5. – С. 149-153.
Описана лабораторная установка прямого ионного осаждения, предназначенная для получения пленок карбида кремния в условиях конденсации ионов углерода и кремния. В установке использован оригинальный вакуумно-дуговой источник углеродно-кремниевой плазмы с протяженным катодом и неоднородным магнитным полем. |
