| |
Эминов, Ш. О.
Устройство для жидкофазной эпитаксии [Текст] / Ш. О. Эминов, А. А. Раджабли
// Приборы и техника эксперимента. – 2010. – № 2. – С. 153-155.
Описана усовершенствованная графитовая касета слайдерного типа для жидкофазной эпитаксии в горизонтальном реакторе. |
