| |
Кравченко, Ю. С.
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску [Текст] / Ю. С. Кравченко, А. Ю. Савицький
// Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2008. – № 2. – С. 175-181.
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючиз газів для мікроелектронної технології. |
