| |
Філімонов, С. О.
Побудова моделі п'єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п'єзоелементів [Текст] / С. О. Філімонов
// Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2008. – № 2. – С. 126-129.
Стаття присвячена проблемам створення п'єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'єзоелементів. |
