|
Алиева, Х. С. Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCi_2 [Текст] / Х. С. Алиева, С. С. Сулейманов, М. Н. Муршудли // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 2. – C. 58-61.
Анализируется влияние технологических параметров на характеристики резистивных структур с пленками фталоцианина кремния. |