| |
Дудин, С. В.
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией [Текст] / С. В. Дудин, Д. В. Рафальский, А. В. Зыков
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 2. – С. 52-55.
Исследованы характеристики ВЧ-источника ионов с односеточной ИОС с диаметром пучка 250 мм. и током пучка до 1 А. |
