| |
Воронин, В. А.
Получение арсенид-галлиевых структур силовых биополярных и полевых транзисторов методом газофазной эпитаксии [Текст] / В. А. Воронин, С. К. Губа, И. В. Курило
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 2. – С. 31-35.
Описываются результаты исследований технологии получения изотермическим низкотемпературным методом хлоридной эпитаксии совершенных структур. |
