Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Дуб, С. Н.
    Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Ta-B-N [Текст] / С. Н. Дуб, А. А. Гончаров, В. В. Петухов
    // Сверхтвердые материалы. – 2009. – № 2. – С. 3-11.

   Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Ta-B-N на стальной подложке ВЧ-магнтронным реактивным распылением мишени ТаВ_2 в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок.

  УДК 549.2


            


Є складовою частиною документа Сверхтвердые материалы [Текст] : научно-теоретический журнал / НАН Украины, ин-т сверхтвердых материалов им. В.Н.Бакуля. – 2009. – № 2.



Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'