| |
Дудин, С. В.
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы [Текст] / С. В. Дудин, Д. В. Рафальский
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 42-45.
Изучены закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы с использованием ВЧ индукционного источника ионов. |
