| |
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния [Текст] / П. А. Форш Е. А. Форш, М. Н. Мартышов, В. Ю. Тимошенко, П. К. Кашкаров
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 35-37.
Исследовано влияние термического окисления на проводимость слоев пористого кремния, полученного травлением пластин многокристаллического кремния с ориентацией поверхности (110). |
