|
Егоркина, Р. Ю. Экологические аспекты в производстве фотошаблонов [Текст] / Р. Ю. Егоркина, В. А. Овчинников, В. Б. Кольцов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 6. – С. 85-86.
Полученные данные могут стать основой формирования отраслевых нормативов образования отходов и справочных таблиц удельных нормативов образования отходов для производства микроэлектронной продукции. |