| |
Филипов, В. В.
Моделирование электрических параметров каналов кремниевых МОП-транзисторов на деформированной подложке [Текст] / В. В. Филипов, Б. К. Петров, Ю. М. Мяснянкин
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 6. – С. 21-27.
Рассмотрено влияние деформации на электрофизические параметры кремниевых слоистых структур. |
