| |
Изюмов, М. О.
Электростатический прижим с температурной стабилизацией полупроводниковых пластин при плазменной обработке [Текст] / М. О. Изюмов
// Приборы и техника эксперимента. – 2009. – № 6. – С. 131-132.
Электростатический прижим с подачей гелия под пластину позволяет стабилизировать температуру полупроводниковых пластин при их вакуумно-плазменной обработке, когда присутствует интенсивный тепловой поток из плазмы к пластине. |
