| |
Установка магнетронного напыления геттерных покрытий в малоапертурных камерах [Текст] / В. В. Анашин, А. А. Жуков, А. А. Краснов, А. М. Семенов
// Приборы и техника эксперимента. – 2009. – № 6. – С. 127-130.
Описывается установка магнетронного распыления тонкопленочных покрытий, предназначенная для нанесения геттерных покрытий в протяженных вакуумных структурах сложной апертуры. |
