| |
Влияние режимов формирования на свойства ионно-кремниевых диодных структур [Текст] / Р. В. Рыжук, Н. И. Каргин, Б. А. Билалов, В. А. Гудков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 5. – С. 7-14.
Показано, что свойства ионно-легированных карбид-кремниевых структур практически не зависят от дозы имплантации в диапазоне от 1000 до 3000 мкКЛ/см.кв. |
