| |
Лысенко, И. Е.
Моделирование упругого подвеса трехосевого микромеханического гироскопа-акселерометра [Текст] / И. Е. Лысенко, Е. В. Шерова
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 4. – С. 48-55.
Описан чуствительный элемент микромеханического гироскопа-акселерометра с тремя осями чуствительности, изготавливаемый по интегральной1 технологии поверхносной микрообработки. |
