| |
Нанесение металлических пленок с использованием магнетронного разряда в системе с полым катодом [Текст] / Ю. П. Царьгородцев, Н. П. Полуэктов, В. Н. Харченко, И. А. Камышов
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 4. – С. 19-24.
Проведенны исследования плазмы в магнетронном разряде с полым катодом для осаждения металлических пленок, применяемых в изделиях микро- и наноэлектроники. |
