| |
Александров, О. В.
Модель термического окисления кремния с релаксацией коэффициента диффузии [Текст] / О. В. Александров, А. И. Дусь
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 4. – С. 9-18.
На основе объемной модели окисления с учетом влияния внутренних механических напряжений и временной релаксации коэффициента диффузии окислителя в диоксиде проведен количественный анализ эффектов, наблюдающихся при обычном, быстром и многостадийном термическом окислении кремния. |
