| |
Компактный источник пара материала проводящей мишени, распыляемой ионами с энергией 3 кэВ при давлении 0.05 Па [Текст] / С. Н. Григорьев, Ю. А. Мельник, А. С. Метель [и др.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2009. – № 5. – С. 127-133.
Разработан источник пара, в котором распыляемая ионами аргона плоская мишень установлена на дне изолированого от нее полого катода. |
