|
Установка для получения металлических многослойных покрытий с нанометровой толщиной слоев [Текст] / Г. В. Струков, Г. К. Струкова, Э. Д. Шу [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 2009. – № 5. – С. 123-126.
Описана автоматизированная электрохимическая установка для нанесения на проводящую подложку заданного количества нанометровых слоев различных металлов по заданной программе. |