| |
Инерционный пьезоэлектрический шаговый привод субнанометровой точности [Текст] / А. М. Липанов, П. В. Гуляев, Е. Ю. Шелковников, А. В. Тюриков
// Приборы и техника эксперимента. – 2009. – № 5. – С. 121-122.
Описан линейный шаговый пьезоэлектрический привод инерционного типа. Привод отличается невысокой стоимостью и простой сборкой. |
