| |
Алехин, А. П.
Исследование границы раздела кремний-сульфид цинка, формуемой мотедом атомно-слоевого осаждения [Текст] / А. П. Алехин, Маркеев
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 1. – С. 87-89.
Метод атомно-слоевого осаждения(АСО) тонких пленок представляет собой циклическую последовательность самоограниченых реакций в хемосорбированных слоях между попеременно напускаемыми в реактор реагентами. |
