| |
Данилина, Т. И.
Моделирование микрорельефа и распределения электрического поля в МДМ-структурах [Текст] / Т. И. Данилина, П. Е. Троян
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 1. – С. 22-26.
При моделировании процесов травления микроострийного нижнего электрода и процессов осаждения диэлектрической пленки установлен факт сильного уничтожения пленки на боковых поверхностях и у основания микроостриев. |
