| |
Милешко, Л. П.
Слоистое строение анодных пленок SiO2, легированных фосфором или бором [Текст] / Л. П. Милешко
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 1. – С. 12-15.
Установлено, что анодные оксидные пленки кремния, полученные методом реанодирования (повнорного анодного окисления) кремния p- и n- типов в фосфатном, боратном и нитратном электролитах на основе тетрагидрофурфурилового спирта, имеют трех- или четырехслойное строение как до, так и после высокотемпературного отжыга. |
