| |
Манжа, Н. М.
Исследование осаждения слоев нитрита кремния из паровой фазы аммонолизом дихлорсилана при пониженом давлении [Текст] / Н. М. Манжа
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 2. – С. 3-9.
Исследована кинетика осаждения слоев нитрита кремния при пониженом давлении в реакторе 10-130 Па в интервале температур осаждения 973-1073.Рассчитана константа равновесия биомолекулярной реакции взаимодействия дихлорида с амиаком. |
